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[发明专利]压电薄膜片和压电薄膜传感器-CN202111065213.9在审
发明人：宋细彬 -专利权人：深圳市真元天成科技有限公司
申请日： 2021-09-11 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： H01L41/113 文献下载
摘要：本发明涉及传感器技术，公开了一种压电薄膜片和压电薄膜传感器，主要解决传统的压电薄膜制成的压电薄膜传感器无法灵敏地检测通过空气传播的音波强度的问题。压电薄膜片包括压电薄膜层，压电薄膜层沿其纵向极化，压电薄膜片还包括覆盖在压电薄膜层上表面的正电极层和覆盖在压电薄膜层下表面的负电极层，压电薄膜层中具有若干空腔，各空腔沿压电薄膜层横向紧密排列在压电薄膜层中应用本发明提供的压电薄膜传感器检测压力时，当音波传递到压电薄膜片上时，压电薄膜层内紧密排列的空腔产生腔体振动变形并作用于腔壁上，能够产生比传统压电薄膜更强的压电效应，从而提高对通过空气传播的音波的检测灵敏度
压电薄膜传感器

[实用新型]压电薄膜片和压电薄膜传感器-CN202122195441.X有效
发明人：宋细彬 -专利权人：深圳市真元天成科技有限公司
申请日： 2021-09-11 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： H01L41/113 文献下载
摘要：本发明涉及传感器技术，公开了一种压电薄膜片和压电薄膜传感器，主要解决传统的压电薄膜制成的压电薄膜传感器无法灵敏地检测通过空气传播的音波强度的问题。压电薄膜片包括压电薄膜层，压电薄膜层沿其纵向极化，压电薄膜片还包括覆盖在压电薄膜层上表面的正电极层和覆盖在压电薄膜层下表面的负电极层，压电薄膜层中具有若干空腔，各空腔沿压电薄膜层横向紧密排列在压电薄膜层中应用本发明提供的压电薄膜传感器检测压力时，当音波传递到压电薄膜片上时，压电薄膜层内紧密排列的空腔产生腔体振动变形并作用于腔壁上，能够产生比传统压电薄膜更强的压电效应，从而提高对通过空气传播的音波的检测灵敏度
压电薄膜传感器

[发明专利]柔性多层复合压电薄膜的制备方法及柔性多层复合压电薄膜-CN202010700390.9有效
发明人：杨诚;陈超杰 -专利权人：清华大学深圳国际研究生院
申请日： 2020-07-20 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： H10N30/05 文献下载
摘要：本发明提供一种柔性多层复合压电薄膜的制备方法及柔性多层复合压电薄膜，方法包括：将压电层材料溶于有机溶剂形成压电油墨；将导电浆料涂布在基材薄膜上得到第一电极层；在第一电极层上涂布压电油墨并烘干得到第一压电层，依序再次涂布压电层、电极层，压电层和电极层堆叠形成叉指结构，多个所述压电层并联；由此第一柔性多层复合压电薄膜；对所述第一柔性多层复合压电薄膜进行电晕极化处理得到第二柔性多层复合压电薄膜；用金属导线分别与第二柔性多层复合压电薄膜中的第一电极层和第二电极层分别相连作为正极和负极，得到第三柔性多层复合压电薄膜；在第三柔性多层复合压电薄膜外涂布形成保护层得到最终的柔性多层复合压电薄膜。
柔性多层复合压电薄膜制备方法

[实用新型]一种压电薄膜结构-CN202222612825.1有效
发明人：尤晖;刘亚平;吴严严;卓能聪;石城宇;吴耀光;蒙丹;黄为良;张丽文;阮瑞成 -专利权人：广西大学
申请日： 2022-09-30 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： G01L1/16 文献下载
摘要：本实用新型涉及压电薄膜技术领域，具体公开了一种压电薄膜结构，包括PVDF压电薄膜，所述PVDF压电薄膜上表面镀有PEDOT：PSS薄膜，所述PEDOT：PSS薄膜的上表面设置有正电极层，所述正电极层上表面设置上保护层，所述上保护层上表面设有弹性缓冲层，所述PVDF压电薄膜下表面设置有负电极层，所述负电极层下表面设有下保护层。本实用新型的压电薄膜结构中，通过PVDF压电薄膜和PEDOT：PSS薄膜复合能够增强压电薄膜的压电效应，提高检测灵敏度；通过保护层有效保护电极和压电薄膜，降低外部环境对压电薄膜结构的干扰；设置弹性缓冲层用于缓冲车辆对压电薄膜结构造成的冲击
一种压电薄膜结构

[发明专利]一种复合型压电薄膜及其制备方法、谐振器-CN202211020896.0在审
发明人：林炳辉;谢杰林;蔡耀;刘炎;丁志鹏;孙博文;孙成亮 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2022-08-24 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本申请提供一种复合型压电薄膜及其制备方法、谐振器，涉及半导体技术领域，方法包括：在单晶衬底上通过高温沉积第一压电薄膜层，以此得到第一晶圆，并且通过高温沉积的方式能够使得第一压电薄膜层为单晶压电薄膜层，从而保证压电层的高质量；然后根据第一压电薄膜层的应力值来确定低温沉积的工艺参数，以此根据低温沉积的工艺参数在第一压电薄膜层上通过低温沉积第二压电薄膜层时，便可以利用第二压电薄膜层来平衡第一压电薄膜层的应力，从而降低整个复合型压电薄膜的整体应力，避免复合型压电薄膜的应力过大出现裂纹或翘曲等，实现在单晶衬底上制作同时满足高质量和低应力的压电薄膜层。
一种复合型压电薄膜及其制备方法谐振器

[发明专利]压电薄膜元件的制造方法、压电薄膜元件以及压电薄膜元件用部件-CN201180030839.4有效
发明人：池内伸介;山本观照 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2011-07-26 - 公布日： 2013-03-06 - 主分类号： H01L41/22 文献下载
摘要：提供一种具有表面形态良好、结晶性优异的压电薄膜层的压电薄膜元件的制造方法。压电薄膜元件的制造方法包括：在基板(1)上形成下部电极层(2)的工序；在下部电极层(2)上，以相对较低的成膜温度来形成压电薄膜缓冲层(3)的工序；在压电薄膜缓冲层(3)上，以比压电薄膜缓冲层(3)的成膜温度高的成膜温度来形成压电薄膜层(4)的工序；以及在压电薄膜层(4)上形成上部电极层的工序。
压电薄膜元件制造方法以及部件

[发明专利]一种Lamb波声学器件结构-CN202310455759.8在审
发明人：陈正林;杜雪松;李桦林;马晋毅;肖强;贺艺;徐瑞豪;潘虹芝;陆川;董加和;梁柳洪 -专利权人：中国电子科技集团公司第二十六研究所
申请日： 2023-04-25 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： H03H9/13 文献下载
摘要：本发明公开了一种Lamb波声学器件结构，包括电极指条层、压电薄膜层、功能薄膜层和支撑衬底层；所述电极指条层位于所述压电薄膜层表面，所述电极指条层包括沿轴向设置的多个指条；所述压电薄膜层位于所述功能薄膜层表面，所述压电薄膜层包括沿轴向设置的多个压电薄膜组件，所述压电薄膜组件与所述指条一一对应，且所述指条位于对应所述压电薄膜组件的表面；所述功能薄膜层位于所述支撑衬底层表面，且所述压电薄膜层和所述功能薄膜层之间形成压电复合薄膜结构
一种 lamb 声学器件结构

[发明专利]压电电缆-CN201710044202.X有效
发明人：杨松 -专利权人：杨松
申请日： 2017-01-19 - 公布日： 2018-08-03 - 主分类号： H01B7/17 文献下载
摘要：本发明揭示了一种压电电缆，包括：保护层，以及设置在所述保护层内侧的柔性电芯、压电薄膜层、导电层；所述柔性电芯的外侧包裹所述压电薄膜层，压电薄膜层外侧设置所述导电层；所述压电薄膜层的两面分别与所述柔性电芯和导电层电连接本发明的压电电缆，其电芯为导电的柔性电芯，柔性电芯外侧包裹压电薄膜层，压电薄膜层的外侧包裹导电层，当外力作用在压电电缆时，柔性电芯被挤压变形，而包裹在柔性电芯上的压电薄膜层会因此发生张力变化，从而产生电荷信号，其无需在电芯和导电层之间设置相互咬合的突起和对应的凹陷，所以无需特殊的生产工艺，生产简单；压电薄膜无悬空设置，在受力后对压电薄膜的损伤较小，提高使用寿命。
压电电缆

[实用新型]压电电缆-CN201720074641.0有效
发明人：杨松 -专利权人：杨松
申请日： 2017-01-19 - 公布日： 2017-09-19 - 主分类号： H01B7/17 文献下载
摘要：本实用新型揭示了一种压电电缆，包括保护层，以及设置在所述保护层内侧的柔性电芯、压电薄膜层、导电层；所述柔性电芯的外侧包裹所述压电薄膜层，压电薄膜层外侧设置所述导电层；所述压电薄膜层的两面分别与所述柔性电芯和导电层电连接本实用新型的压电电缆，其电芯为导电的柔性电芯，柔性电芯外侧包裹压电薄膜层，压电薄膜层的外侧包裹导电层，当外力作用在压电电缆时，柔性电芯被挤压变形，而包裹在柔性电芯上的压电薄膜层会因此发生张力变化，从而产生电荷信号，其无需在电芯和导电层之间设置相互咬合的突起和对应的凹陷，所以无需特殊的生产工艺，生产简单；压电薄膜无悬空设置，在受力后对压电薄膜的损伤较小，提高使用寿命。
压电电缆

[发明专利]一种声波谐振器的制备方法及声波谐振器-CN202310682115.2在审
发明人：欧欣;吴进波;张师斌;郑鹏程;房晓丽 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2023-06-08 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：通过利用同一种工艺制备得到两个压电结构；每个压电结构包括由下至上依次设置的支撑衬底和压电薄膜层；两个压电薄膜层的厚度的差值小于或者等于20％的预设压电薄膜层的厚度；预设压电薄膜层为两个压电薄膜层中较厚的压电薄膜层；对两个压电结构进行键合，得到键合结构；两个压电薄膜层位于键合结构的中层区域；去除键合结构中的任一个支撑衬底；在支撑衬底靠近保留的压电结构中的压电薄膜层的区域制备空腔，以使压电薄膜层悬空。本申请提供的该异质集成结构中的对称互补的压电薄膜能够抵消这两个压电薄膜层总体的内部应力，从而提高器件性能。
一种声波谐振器制备方法

[发明专利]层叠压电元件-CN202180020130.X在审
发明人：香川裕介;芦川辉男;平口和男 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2021-02-25 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： H01L41/083 文献下载
摘要：本发明提供一种层叠压电元件，其在层叠了多层以电极层及保护层来夹持压电体层而成的压电薄膜的层叠压电元件中，能够抑制压电薄膜之间的短路。层叠压电元件层叠2层以上的压电薄膜而成，该压电薄膜具有压电体层、夹持压电体层的2个电极层及分别覆盖电极层的2个保护层，相邻的各个压电薄膜的端边的至少一部分在面方向上位于不同位置。
层叠压电元件

[发明专利]一种柔性压电传感器及其制备方法、脉搏波检测方法-CN202310526673.X在审
发明人：胡志军;梁紫旭 -专利权人：苏州大学
申请日： 2023-05-11 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： H10N30/80 文献下载
摘要：本发明涉及一种柔性压电传感器及其制备方法、脉搏波检测方法，涉及压电传感器技术领域。本发明提供的柔性压电传感器包括：柔性压电薄膜层；涂敷在柔性压电薄膜层上下表面的电极层；设置在涂敷有电极层的柔性压电薄膜层表面的柔性聚合物薄膜层。其制备方法包括：制备表面具有微纳米结构的柔性聚合物薄膜；将柔性聚合物薄膜贴敷于表面具有电极层的柔性压电薄膜表面，得到柔性压电传感器。本发明提供的柔性压电传感器使用表面具有微纳米结构的柔性聚合物薄膜层，以在柔性压电薄膜层表面产生非均匀压力，使得柔性压电薄膜层在压力作用下不仅能够产生压电效应，还能够产生挠曲电效应，从而能够更精确地检测到微弱的压力信号，提高柔性压电传感器的灵敏度。
一种柔性压电传感器及其制备方法脉搏检测

[发明专利]压电复合薄膜及其制备方法-CN201911016607.8在审
发明人：李真宇;胡文;张秀全;罗具廷 -专利权人：济南晶正电子科技有限公司
申请日： 2019-10-24 - 公布日： 2020-02-21 - 主分类号： H01L41/08 文献下载
摘要：公开了一种压电复合薄膜及其制备方法，所述方法包括：准备预压电复合薄膜，预压电复合薄膜包括顺序堆叠的衬底、隔离层和压电晶体薄膜层；对压电晶体薄膜层执行离子注入工艺，其中，注入离子穿过压电晶体薄膜层并停留在隔离层中，以使压电晶体薄膜层的注入离子所穿过的区域的极化方向反转；以及在注入离子工艺之后对预压电复合薄膜执行退火工艺，以获得压电复合薄膜。
压电复合薄膜及其制备方法

[发明专利]一种异质压电薄膜结构及其制备方法-CN202010719055.3有效
发明人：欧欣;陈阳;黄凯;赵晓蒙;鄢有泉;李忠旭 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2020-07-23 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： H01L41/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种异质压电薄膜结构及其制备方法，该异质压电薄膜结构包括衬底层；层叠在衬底层上的介质层；层叠在介质层上的过渡层；以及，层叠在过渡层上的压电薄膜层；其中，衬底层的热膨胀系数小于压电薄膜层的热膨胀系数；过渡层与压电薄膜层的组分相同，且过渡层的晶格常数大于压电薄膜层的晶格常数；所述过渡层内具有拉应力，所述异质压电薄膜结构的晶圆bow值小于所述衬底层对应的初始衬底晶圆的晶圆bow值。本发明异质压电薄膜结构中压电薄膜层可以承受更高的退火温度而不致损坏，从而可以使该结构中经过离子注入的薄膜层中离子注入缺陷恢复的更加完全，晶格质量好，进而有利于提升基于薄膜压电材料的相关元器件的性能。
一种压电薄膜结构及其制备方法

[发明专利]一种压电薄膜的制备方法、压电薄膜及声表面波滤波器-CN202010717300.7有效
发明人：欧欣;陈阳;黄凯;赵晓蒙;鄢有泉;李忠旭;黄浩 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2020-07-23 - 公布日： 2021-05-25 - 主分类号： H01L41/253 文献下载
摘要：本发明公开了压电薄膜的制备方法、压电薄膜及声表面波滤波器，该方法包括：对压电晶圆进行离子注入剥离，得到表面具有离子注入损伤层的初始压电薄膜；在预设温度范围内，通过氟离子对初始压电薄膜进行低能离子辐照去除所述离子注入损伤层，得到辐照后的压电薄膜；辐照后的压电薄膜的表面具有非晶层，所述非晶层包含所述氟离子与初始压电薄膜在离子辐照过程中进行化学反应得到的成分；使用预设混合溶液去除辐照后的压电薄膜表面的非晶层，得到压电薄膜。本发明能够降低薄膜表面粗糙度和提高薄膜厚度均匀性，同时不在薄膜表面留下非晶层。
一种压电薄膜制备方法表面波滤波器

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